Raws li microelectronics shrinkage thiab wafer loj hlob tuaj, qhov kev xav tau muab tso rau hauv cov kab hluav taws xob kab hluav taws xob tau mus txog qib siab. Ib txwm siv tshuab recirculating pob-cov lus qhia cov kabmob tau tsoo lawv lub cev txwv. Kev sib txhuam, thim rov qab, kev hnav khaub ncaws, thiab micro- vibrations txwv lawv lub peev xwm los txo qis. Nkag mus raugranite huab cua bearing system-ib qho kev sib txhuam tsis siv tshuab uas ua ke lub ntuj geological flatness ntawm cov xim dub granite nrog cov yeeb yaj kiab huab cua kom ua tiav nyob ze - cov lus tsa suab zoo meej.
Granite Air Bearings Ua Haujlwm li cas
Cov kabmob huab cua siv cov txheej nyias nyias, cov txheej txheem siab ntawm cov huab cua huv, qhuav (feem ntau yog 5 txog 10 microns tuab) los txhawb nqa lub tsheb thauj mus los saum toj no cov lus qhia taug qab. Vim hais tias lub carriage lus ntab saum huab cua, tsis muaj kev sib cuag ntawm lub cev ntawm cov khoom txav.
Txawm li cas los xij, huab cua bearing tsuas yog qhov tseeb raws li qhov chaw nws ntab rau. Yog tias txoj kev tsheb ciav hlau tsis sib xws, qhov sib txawv ntawm huab cua yuav hloov pauv, ua rau muaj kev hloov pauv ntawm huab cua siab, uas ua rau lub tsheb qaij lossis kev co. Qhov no yog vim li cas UNPARALLELED® Black Granite yog tus khub zoo tshaj plaws rau cov kabmob huab cua: nws tuaj yeem ua tshuab thiab tes-lapped rau sub-micron flatness, muab ib qho zoo kawg nkaus, du, thiab qhov chaw ruaj khov rau huab cua zaj duab xis kom swb dua.
Qhov zoo ntawm Granite Air Bearings
Zero Wear, Infinite Lifespan: Txij li thaum tsis muaj kev sib cuag nrog txhua yam, tsis muaj lub cev hnav thiab tsim kua muag. Lub kaw lus qhov tseeb tseem zoo ib yam rau hnub 1,000 raws li nws tau ua nyob rau hnub 1. Qhov no ua rau txo qis txij nkawm hauv 24/7 chav huv.
Velocity Smoothness: Mechanical bearings raug kev txom nyem los ntawm "cogging" thiab rolling resistance variations. Huab cua bearings muab kev sib txhuam, tsis muaj kev sib txhuam, tso cai rau kev ruaj khov sub-nanometer ceev tswj.
Qhov Kev Pom Zoo Tshaj Plaws Tshaj Plaws: Ua ke nrog cov motors linear thiab siab - daws teeb meem kho qhov muag encoders, huab cua bearing theem tuaj yeem ua tiav sub-nanometer positioning repeatability, uas yog ib qho tseem ceeb rau EUV (Extreme Ultraviolet) lithography thiab kev tshuaj xyuas qhov muag siab heev.
Tsis Siv Neeg Lubrication Yuav Tsum Tau: Cov kabmob ib txwm yuav tsum muaj roj lossis roj, uas tuaj yeem tso tawm thiab ua kom paug lub tshuab nqus tsev lossis lub qhov muag pom. Cua bearings khiav ntawm huab cua huv, ua kom lawv huv huv huv- sib xws.
Daim ntawv thov tsom teeb: Semiconductor Wafer Inspection
Hauv kev tshuaj xyuas semiconductor wafer (AOI/X-RAY), cov koob yees duab yuav tsum luam theej duab wafers txav ntawm qhov siab ceev thaum tswj qhov tob focal zoo meej. Txawm tias me me ntsug kev vibration tuaj yeem plam daim duab. Lub tsheb thauj neeg mob huab cua caij ntawm ib qho ultra-pav granite qhia kev tsheb ciav hlau kom ntseeg tau tias qhov sib txawv ntawm txoj kab ntsug (pitch, yob, thiab yaw) tseem zoo li tsis muaj-tseem muaj, ua kom siab -throughput, yuam kev- dawb tswj.
Nug Cov Lus Qhia: Kev cai huab cua -cov kabmob gantry xav tau kev sib koom tes ua haujlwm siab. Thaum thov ib qho kev tsocai, engineers yuav tsum qhia qhov hnyav load, lub hom phiaj acceleration, thiab ib puag ncig tsis (nqus vs. atmospheric) kom ntseeg tau tias cov qauv granite thiab cua nozzles yog tsim los ua ib qho kev sib haum xeeb.