Kev siv granite ua cov khoom siv rau cov khoom siv semiconductor tau ua kev lig kev cai ntev. Nws yog qhov zoo dua vim nws qib siab stability, tsis tshua muaj thermal expansion, thiab tag nrho durability. Txawm li cas los xij, ib qho ntawm lub hauv paus granite uas feem ntau saib tsis tau yog nws qhov roughness nto. Qhov kev ntsuas no tseem ceeb heev rau kev ua haujlwm tag nrho ntawm cov cuab yeej thiab tuaj yeem cuam tshuam qhov tseeb, rov ua dua, thiab kev ntseeg tau.
Txhawm rau nkag siab txog qhov cuam tshuam ntawm qhov roughness, nws yog ib qho tseem ceeb uas yuav tsum xav txog kev sib cuam tshuam ntawm granite puag, cov khoom siv, thiab cov khoom siv semiconductor wafers. Lub hauv paus granite ua raws li kev txhawb nqa rau cov khoom siv, uas suav nrog ntau yam khoom uas muaj lub luag haujlwm rau kev ua, tshuaj xyuas, thiab ntsuas. Qhov nto roughness ntawm granite hauv paus ncaj qha cuam tshuam rau lub tiaj tus thiab ruaj khov ntawm cov cuab yeej, uas tuaj yeem cuam tshuam nws cov kev ua haujlwm tsis zoo.
Thaum lub hauv paus granite muaj qhov du, nws muab lub platform ruaj khov thiab zoo ib yam rau cov khoom siv. Qhov no tso cai rau cov cuab yeej ua haujlwm nrog qhov raug siab dua thiab rov ua dua vim tias tsis muaj qhov hloov pauv hauv qhov chaw uas tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis sib xws hauv cov zis. Tsis tas li ntawd, lub ntsej muag du pab txo qis qhov cuam tshuam ntawm kev co thiab thermal expansion, uas yog ib qho ntawm qhov yuam kev hauv semiconductor manufacturing.
Ntawm qhov tod tes, qhov ntxhib nto tuaj yeem cuam tshuam cov khoom siv ua haujlwm tsis zoo. Qhov ntxhib saum npoo tuaj yeem ua rau tsis sib xws ntawm kev faib tawm, uas tuaj yeem ua rau muaj teeb meem hauv kev ua cov semiconductor wafers. Piv txwv li, tej zaum nws yuav ua rau tsis zoo ib yam etching los yog deposition qauv, uas yuav ua rau cov cuab yeej tsis zoo. Tsis tas li ntawd, qhov ntxhib saum npoo tuaj yeem ua rau puas thiab hnav ntawm cov khoom siv, uas ua rau txo qis kev ua neej thiab raug.
Yog li ntawd, nws yog ib qho tseem ceeb kom tswj tau qhov nto roughness ntawm granite puag nyob rau hauv ib qho kev tshwj xeeb rau kev pom cov khoom siv. Qhov pom zoo roughness theem txawv nyob ntawm seb cov khoom siv tshwj xeeb siv. Txawm li cas los xij, feem ntau, qhov roughness ntawm qhov tsawg dua 10 nm raug pom zoo rau feem ntau cov khoom siv semiconductor.
Muaj ob peb txoj hauv kev siv los tswj qhov roughness ntawm granite puag, nrog rau pob zeb diamond polishing, lapping, thiab sib tsoo. Txoj kev xaiv nyob ntawm seb qhov roughness yuav tsum tau ua thiab cov khoom siv tshwj xeeb raug siv. Qhov tseem ceeb yog los xyuas kom meej tias qhov zoo ntawm qhov roughness yog khaws cia tas li kom ntseeg tau tias kev ua tau zoo thiab kev ntseeg tau.
Hauv kev xaus, qhov roughness ntawm lub hauv paus granite yog qhov tseem ceeb uas cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv semiconductor. Ib tug du nto yog nyiam raws li nws muab ib tug ruaj khov thiab niaj hnub platform rau cov cuab yeej ua hauj lwm. Kev tuav lub ntsej muag kom zoo los ntawm kev saib xyuas tsis tu ncua yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau tias kev ua tau zoo thiab kev ntseeg tau ntev ntawm cov cuab yeej.
