Nyob rau hauv qhov kev tsis txaus siab ntawm kev ua tau zoo dua thiab cov nqi qis dua, kev lag luam semiconductor tau nce siab tig mus rau qhov tsis muaj peev xwm ntawm kev siv wafers. Raws li qhov kev thov rau cov chips txuas ntxiv mus dhau qhov kev muab khoom, thiab nrog kev ruaj khov los ua lub ntsiab lus tseem ceeb ntawm kev tsim khoom niaj hnub no, rov ua dua thiab rov qab siab dua - zoo silicon los ntawm yav dhau los siv wafers tau tshwm sim los ua lub tswv yim tseem ceeb. Txawm li cas los xij, cov txheej txheem no yog fraught nrog cov teeb meem, feem ntau yog nyob ntawm kev ua kom muaj kev ncaj ncees thiab zoo ntawm cov khoom siv rov qab. Hauv plawv ntawm qhov kev ua haujlwm nyuaj no yog ib qho kev siv thev naus laus zis uas yog qhov tseem ceeb rau kev ua tiav cov txiaj ntsig siab: qhov tseeb XY lub rooj.
Txoj kev taug kev ntawm kev siv wafer, feem ntau hu ua "reclaim wafer," pib tom qab nws pib siv nyob rau hauv ib tsob nroj fabrication (Fab). Cov wafers no yuav tau xeem wafers, siv los calibrate thiab tsim nyog cov cuab yeej tsim khoom, los yog lawv yuav yog prime wafers los ntawm ntau lawm ntau yam uas tsis tau raws li qhov kawg specifications. Txawm hais tias lawv lub hauv paus chiv keeb, lub hom phiaj yog kom tshem tawm tag nrho cov txheej txheej thiab cov qauv hauv Circuit Court, polish qhov saum npoo mus rau lub xeev pristine, thiab xa rov qab mus rau qhov xwm txheej uas tsim nyog rau rov siv dua hauv cov txheej txheem tsim khoom. Cov txheej txheem reclamation no tsis yog ib qho kev tu cev xwb; nws yog ib tug sophisticated series ntawm cov kauj ruam uas xav tau heev raug ntawm txhua txhua tig.
Thawj thiab tej zaum tseem ceeb tshaj plaws hauv kev rov ua dua ib qho wafer siv yog kev tshuaj xyuas kom meej thiab zoo. Ua ntej txhua yam tshuaj los yog kev siv tshuab tuaj yeem pib, engineers yuav tsum nkag siab txog wafer lub xeev tam sim no. Qhov no yog qhov uas cov cuab yeej tshuaj xyuas qhov muag tau los ua si. Cov txheej txheem qib siab no siv siab - cov koob yees duab daws teeb meem thiab cov txheej txheem teeb pom kev zoo los luam theej duab tag nrho wafer nto, txheeb xyuas cov seem seem, khawb, qhov, lossis lwm yam tsis xws luag ntawm nws lub neej yav dhau los. Cov ntaub ntawv tsim tawm los ntawm kev tshuaj xyuas no yog qhov tseem ceeb, raws li nws hais rau daim ntawv qhia rov qab rov qab. Ib lub wafer nrog cov kab mob me me yuav dhau los ua cov txheej txheem ntxuav ntau dua li ib qho uas muaj qhov sib txawv ntawm qhov chaw saum npoo av.
Txawm li cas los xij, qhov ua tau zoo ntawm cov cuab yeej tshuaj xyuas qhov muag kho qhov muag yog qhov tseem ceeb ntawm kev ruaj ntseg thiab qhov tseeb ntawm lub platform uas tuav thiab txav lub wafer. Qhov no yog lub domain ntawm lubprecision XY rooj. Txhawm rau ntes qhov tsis xws luag uas yuav tsuas yog ob peb nanometers loj, qhov kev tshuaj ntsuam xyuas qhov optics yuav tsum ua kom zoo nrog rau thaj tsam ntawm lub hom phiaj. Ib qho kev vibration, drift, los yog qhov ua yuam kev uas qhia los ntawm theem yuav ua rau cov duab tsis meej pem, ploj lawm, lossis nyeem ntawv tsis tseeb. Nyob rau hauv cov ntsiab lus ntawm kev siv wafer ua, qhov twg cov npoo ntawm qhov kev ua yuam kev tsis zoo li tsis muaj -, qhov tseeb XY lub rooj dhau los ua tus phab ej tsis zoo, muab lub pob zeb- lub hauv paus ruaj khov raws li kev soj ntsuam txhim khu kev qha.
Lub rooj XY precision, tseem hu ua wafer theem, yog lub zog tswj qhov txav ntawm qhov khoom nrog qhov tseeb tshwj xeeb ntawm ob txoj kab rov tav (X thiab Y). Hauv siab -kawg daim ntawv thov xws li kev tshuaj xyuas semiconductor thiab lithography, cov ntxhuav no yog qhov zoo kawg nkaus ntawm engineering. Lawv feem ntau siv tsis yog-cov kev taw qhia kev sib cuag, xws li huab cua bearings los yog sib nqus levitation, kom tshem tawm cov neeg kho tshuab kev sib txhuam thiab ua kom du, vibration- dawb txav. Cov tshuab tsav tsheb feem ntau yog siab -kev ua tau zoo linear motors uas tuaj yeem ua tiav nrawm nrawm thiab txo qis yam tsis muaj kev qhia txog kev lag luam.
Qhov tseeb ntsuas ntawm qhov tseeb XY lub rooj muaj peev xwm yog nws lub peev xwm ua kom tiav thiab tuav nanometer-qib qhov chaw raug thiab rov ua dua. Qhov no yog saib xyuas hauv lub sijhawm tiag tiag los ntawm kev tshawb pom qhov system, feem ntau yog laser interferometer lossis siab -precision diffraction grating encoder. Cov tshuab no ua raws li "qhov muag" ntawm theem, muab cov lus tawm tsis tu ncua ntawm nws txoj haujlwm nyob rau hauv rau qib kev ywj pheej (X, Y, Z, suab, yaw, thiab yob). Qhov kev kaw no -loop tswj tso cai rau lub kaw lus ua micro- hloov kho ntawm ya, them nyiaj rau kev cuam tshuam sab nraud lossis sab hauv thermal drifts. Piv txwv li, ib qho tshwm sim hloov maj mam raws li cov cua sov tsim los ntawm cov tsav coils tuaj yeem ua rau theem nthuav dav los ntawm mere nanometers, ib qho kev ua yuam kev uas lub siab -kawg tswj qhov system tuaj yeem ntes thiab kho tau tiag tiag - sijhawm.
Hauv kev tshuaj xyuas qhov muag ntawm ib qho kev siv wafer, qhov tseeb XY lub rooj ua tib zoo choreographed seev cev. Nws yuav tsum ceev nrooj scan tag nrho 300mm los yog 450mm wafer nto nyob rau hauv ib tug meej raster qauv, nres nyob rau hauv ntau txhiab tus predefined qhov chaw tso cai rau lub optical apparatus mus ntes siab - magnification dluab. Qhov ceev thiab qhov tseeb ntawm cov txheej txheem no cuam tshuam ncaj qha rau kev hla ntawm txoj kab rov ua dua. Ib theem sai dua, muaj tseeb dua txhais tau tias ntau dua wafers tuaj yeem kuaj xyuas ib teev, txo tus nqi tag nrho ntawm cov txheej txheem rov qab. Tsis tas li ntawd, kev muaj peev xwm rov qab mus rau qhov kev sib koom ua ke tshwj xeeb yog qhov tseem ceeb rau kev tshuaj xyuas qhov tsis xws luag, qhov thib ob, kev tshuaj xyuas kom ntxaws ntxiv tau ua rau ntawm qhov tshwj xeeb anomaly txheeb xyuas thaum thawj zaug scan.
Thaum qhov kev tshuaj xyuas tiav thiab cov txheej txheem reclamation tau ua tiav rov qab los ntawm wafer, qhov tseeb XY rooj lub luag haujlwm tsis dhau. Qhov kawg validation ntawm ib tug reclaimed wafer yog ib qho tseem ceeb raws li qhov kev tshuaj ntsuam thawj zaug. Lub wafer yuav tsum tau ntawv pov thawj kom ua tau raws li cov lus qhia nruj tib yam li lub hom phiaj -tshiab, "prime" wafer. Qhov no suav nrog lwm qhov kev ntsuas kev ntsuas dav dav thiab ntsuas qhov tsis xws luag, rov tso siab rau qhov tsis muaj kev ruaj ntseg ntawm qhov tseeb XY lub rooj. Lub hom phiaj yog los xyuas kom meej tias lub wafer reclaimed muaj ib tug nto uas yog atomically tiaj tus, tsis muaj ib tug siv lead ua lattice puas, thiab kiag li tsis muaj cov kab mob uas yuav cuam tshuam cov fabrication ntawm tshiab, advanced chips.
Kev lag luam thiab ib puag ncig cuam tshuam ntawm cov thev naus laus zis no muaj txiaj ntsig. Tus nqi ntawm ib qho, siab -purity silicon wafer yog qhov tseem ceeb, thiab raws li qhov loj me me, qhov kev xav tau zoo dhau los ua qhov xav tau ntau dua. Los ntawm kev ua kom muaj kev ntseeg siab thiab siab -yield reclamation ntawm kev siv wafers, precision XY ntxhuav pab ncaj qha mus txo tag nrho cov nqi ntawm semiconductor manufacturing. Qhov kev txuag nyiaj no tuaj yeem dhau mus rau cov khoom siv, thaum kawg tau txais txiaj ntsig zoo rau cov neeg siv khoom. Ntxiv mus, cov txheej txheem ua raws li kev lag luam loj hlob tsom mus rau kev ruaj khov. Silicon wafer ntau lawm yog lub zog- cov txheej txheem hnyav, thiab rov siv cov wafers txo cov pa roj carbon hneev taw cuam tshuam nrog kev tsim cov tshiab. Nws yog ib qho piv txwv meej txog yuav ua li cas kev siv tshuab thev naus laus zis tuaj yeem tsav ob qho kev lag luam thiab lub luag haujlwm ntawm ib puag ncig.
Saib rau yav tom ntej, qhov xav tau ntawm cov lus XY qhov tseeb yuav tsuas ua kom hnyav dua. Raws li kev lag luam txav mus rau cov txheej txheem me me, xws li 2nm thiab dhau mus, kev kam rau ib qho kev tsis xws luag lossis overlay yuam kev zero. Qhov no yuav xav tau cov theem nrog ntau dua qhov tseeb, lub sij hawm daws teeb meem sai dua, thiab zoo dua thermal stability. Kev tsim kho tshiab hauv cov ntaub ntawv tshawb fawb, kev tswj hwm algorithms, thiab kev siv tshuab sensor yuav yog qhov tseem ceeb rau kev ua tiav cov kev cov nyom no. Peb tuaj yeem cia siab tias yuav pom kev sib koom ua ke ntawm kev txawj ntse txawj ntse rau kev saib xyuas kev kwv yees thiab tiag - lub sijhawm ua yuam kev them nyiaj, ntxiv dag zog rau kev ua haujlwm thiab kev ntseeg siab ntawm cov txheej txheem tseem ceeb no.
Nyob rau hauv xaus, thaum lub tsom teeb nyob rau hauv semiconductor manufacturing feem ntau ci nyob rau hauv complexity ntawm nti tsim los yog lub hwj chim ntawm ultraviolet lithography, lub hauv paus technologies uas pab kom cov kev nce qib tseem ceeb sib npaug. Qhov tseeb XY lub rooj yog qhov piv txwv tseem ceeb. Hauv kev tshwj xeeb thiab xav tau ntawm kev siv wafer ua haujlwm, nws ua haujlwm tseem ceeb ntawm kev sib txuas ntawm wafer yav dhau los thiab nws lub neej yav tom ntej. Los ntawm kev muab cov nanometer- qib kev ruaj ntseg uas yuav tsum tau ua rau kev soj ntsuam kho qhov muag, nws ua kom ntseeg tau tias txhua qhov rov qab wafer ua tau raws li cov qauv zoo tshaj plaws. Ua li no, nws ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txhim kho cov khoom lag luam semiconductor, txo cov nqi, thiab txhawb nqa lub neej yav tom ntej rau tag nrho kev lag luam.